三甲基氯硅烷的英文縮寫是TMCS,結構簡式為(CH3)3SiCl,分子量為108.65，是無色透明液體。
三甲基氯硅烷可用于生產多種有機硅化合物，是生產六甲基二硅氮(胺)烷和六甲基二硅氧烷的主要原料?？芍苽渫榛瘎?，也可作為醫藥化工生產中的基團保護劑。
三甲基氯硅烷是在有機分子中引入三甲基硅基的優良試劑，可以作為羥基、羧基、氨基等官能團的保護基團。
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